康寧推出用於改進晶圓光罩的EXTREME ULE Glass材料，可承受包括High NA EUA等高強度極紫外光製程

雖然康寧對一般消費者多因為其玻璃餐具與智慧手機的螢幕玻璃基板而認識，不過康寧也將其玻璃技術應用在最先進的半導體領域，其中也包括用於光罩的玻璃材料；康寧宣布針對新一代晶片製程推出Corning EXTREME ULE Glass材料，能協助晶圓製造商改進光罩，強調足以承受包括High NA EUA(高數值孔徑)等高強度極紫外光黃光製程，並滿足EUV黃光製程對於玻璃材料熱穩定與均質的要求。

▲EXTREME ULE Glass是康寧ULE玻璃的發展，能滿足EUV黃光製程對於玻璃材料熱穩定與均質的嚴格要求

EXTREME ULE Glass具備的熱膨脹特性能協助所有光罩提供出色的一致性與性能，同時EXTREME ULE Glass的平整度與均質大幅降低光罩波度(waviness)，可協助製造商控制不必要變因，協助高階鍍膜的應用。

EXTREME ULE Glass屬於康寧ULE(超低膨脹)玻璃產品組合的進化，ULE為二氧化鈦矽酸鹽玻璃材質的一種，具備接近零的膨脹特性，並長期作為EUV光罩與反射鏡；康寧透過創新的玻璃成形製程，可預期在生產中減少能源使用與降低產生的廢棄物。